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半导体生产中对于超纯水品质都有哪些要求?

文章出处:作者:发表时间:2021-08-02 15:40:01

   超纯水的应用领域涵盖了整个电子行业,还有许多新能源行业也有涉猎,比如新萄京娱乐场网址5197常说的芯片、半导体、光伏等等。今天新萄京娱乐场网址5197主要来说一下半导体领域中超纯水的应用。

  在半导体生产中,超纯水都会被应用在哪里?答案是在晶圆冲洗、化学品稀释、化学机械研磨、洁净室环境中都会应用到。那么,质量会有哪些要求?虽然每个行业都使用所谓的“超纯水”,但质量标准却各不相同。半导体所用的超纯水需要达到的水质标准为:新萄京娱乐场网址5197国电子工业部电子级水质技术标准(18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm五级标准)、新萄京娱乐场网址5197国电子工业部高纯水水质试行标准、美国半导体工业用纯水指标、日本集成电路水质标准、国内外大规模集成电路水质标准。

  

 

  莱特莱德生产的超纯水设备结合了膜分离技术,采用反渗透加离子交换系统(或EDI)相结合的工艺来制取超纯水,该工艺与传统工艺相比具有运行成本低的优点(离子交换器的再生周期大大延长),运行可靠。并且该设备的出水水质符合美国ASTM D5127电子及半导体业用纯水水质TypeE-1.2,高于中国国家电子级超纯水标准GBT11446.1-1997EW-Ⅰ标准,这也就意味着莱特莱德超纯水设备可以产出适用于半导体领域的超纯水。

  莱特莱德专注电子超纯水领域,是集研发设计、设备制造、工程施工、运营维护为一体的环保解决方案服务商。从研发设计、设备制造,到工程施工、运营维护,莱特莱德都秉承"科学创新,以人为本,客户至上"的经营服务理念。新萄京娱乐场网址5197相信,只有高品质的产品才能提升新萄京娱乐场网址5197的综合竞争力。

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