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超纯水系统技术应用 为中国“芯”用水保驾护航

文章出处:作者:发表时间:2021-08-30 13:11:35

   目前,全球约四分之三的芯片生产集中在东亚地区,尤以台积电和三星较多。随着“中国制造2025”,“国家集成电路产业发展推进纲要”的颁布,以及国家半导体大基金的成立,中国“芯”正在加速扩大在全球芯片产能中的占比。

  

 

  虽然中国“芯”制造业发展的如火如荼,但在繁荣背后,也有隐忧。作为芯片产业的重要配套,芯片产业水处理成为行业热点。虽然行业内也存在不少相关企业,但实际上目前市场上做芯片水处理的企业主要集中在中低端市场,能做高端超纯水业务的企业实属凤毛麟角。同时生产高质量超纯水投资巨大,长时间的投入也意味着项目的周期长,因此在行业提升的挑战真正到来之前,愿意投入大量资本去等候收益的机构并不多。

  膜分离技术作为国际公认具有发展前途的一项重大高新技术,具有节能、环保、高效等特点。反渗透、膜蒸馏、超滤、纳滤等因具有能耗小、成本低等优点,成为一类高效膜浓缩技术,均已在芯片生产工艺中显示了效率高、耗能少、操作方便等重大优势。

  综合考虑系统进水水质情况及为保证膜分离系统的稳定运行,莱特莱德采用“微砂多级过滤系统+Neterfo-GA极限分离系统(亚渗透)+Neterfo-HRLE极限分离系统+Clean-EDI系统”相结合的工艺来制备超纯水。其中Neterfo-GA系列极限分离系统(亚渗透)可实现低压系统运行与高回收率并存,Neterfo-HRLE系列极限分离系统可截留TDS、COD,中高运行压力下拥有较高的脱盐率,通过优异的系统设计实现低能耗和高回收率。其出水电阻率可达18 MΩ*cm(25℃),符合芯片生产用水需求。

  作为一个水密集的行业,超纯水在芯片生产过程中的使用量非常大,对于芯片质量的影响也很大。莱特莱德超纯水系统结合“混床+电渗析”两大工艺特点,采用低压循环再生模式,低能耗,模块恢复性能佳。且在更换树脂床或使用化学试剂进行树脂再生时并不需要关闭系统,很大限度地减少了水的质量不稳定因素,为中国“芯”用水保驾护航。

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