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电子晶圆超纯水设备“携手”芯片产业开始新时代

文章出处:作者:发表时间:2021-08-23 16:54:12

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  在国家政策支持和产业发展的双重条件下,新萄京娱乐场网址5197国许多电子企业开始了新型硅片的研发,这也预示着新萄京娱乐场网址5197国硅片产业有望进入黄金时代。然而,硅片对纯度有很高的要求,因此它们对水质也有很高的要求。电子晶圆超纯水设备生产的水可以满足行业用水需求。

  电子晶圆超纯水设备将反渗透水与电去离子(EDI)工艺相结合,制备超纯水。这是一种制备超纯水的新工艺。也是一种环保、经济、发展潜力巨大的超纯水制备工艺。与传统方法相比,电子晶圆超纯水设备不需要使用任何可回收的化学品进行再生。EDI水处理过程中不需要添加化学品,减少了化学品输送问题,降低了系统运行成本。无需中和剂,EDI膜块内无酸碱废液,无需酸碱中和。一般来说,EDI水处理系统产生的浓缩水可以回收利用。整个系统的运行成本较低。EDI水处理设备主要用电维持系统运行,低于传统混床工艺。与混床工艺相比,EDI水处理设备的利用率可达95~99%,有效提高了水资源的利用率。EDI水处理设备无需更换树脂即可连续工作,自动化程度高,无需人工操作。EDI水处理设备设计结构紧凑,占地面积小,安装方便。

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