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半导体生产用纯水设备主要有哪些系统组件

文章出处:EDI水处理作者:EDI水处理发表时间:2020-02-05 16:04:25

  半导体生产用纯水设备主要是由制备系统、控制系统、消毒系统和分配系统这四大系统装置组件组成。每一个系统组件都有自己的职责,每个部分的功能和作用也有所不同。下面详细为大家介绍一下半导体生产用纯水设备四大系统组件:

 

  1、制备系统:该系统是由预处理和反渗透脱盐两部分组成,其中,预处理包括了活性炭过滤器和石英砂过滤器。而反渗透脱盐主要是二级反渗透装置,该装置是整个设备的核心,可确保出水的品质。

  2、控制系统:通过就地控制和集中控制相结合的方式进行控制,监控电导率、压力、水温等重要指标。

  3、消毒系统:通过板式换热器和紫外线杀菌进行巴氏消毒。

  4、分配系统:由纯水储罐和闭路循环管路系统构成的分配系统,其中纯水储罐采用的是薄壁内外抛光而成的不锈钢罐。而循环管路采用的是强制循环供水,所用的管路都是采用卫生级不锈钢管制作,且连接处都是采用卡箍来连接,还有所有用水点的连接方式是以串联的方法进行。

  以上就是小编为大家介绍的全部内容,希望对您有帮助。半导体生产用纯水设备应用领域很广泛,所产生的效益却与新萄京娱乐场网址5197息息相关。

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